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프로브 테스트 솔루션

α150/200/300 시리즈 알파 시리즈 프로브 스테이션

α150/200/300

Just Right, Just Fit! Versatile, affordable and user-friendly
저 전류! 고주파! 하이 파워용 프로브스테이션 6", 8", 12" 프로브스테이션 선택 가능
알파시리즈 프로브스테이션의 컨셉은 소형, 낮은 가격의 놓은 퍼포먼스, 유용성입니다. 알파시리즈는 150mm ~ 300mm의 초소형 소자 측정의 필요성 증가에 따라 IC, Diode, TR, Wafer, Package등의 측정 및 분석의 다양한 요구를 충족시키기 위해 가장 유연성이 좋은 모델로 디자인되었습니다.
주요 특장점
  • 미세 전류, 하이 파워, RF 측정 가능
  • 콤팩트한 디자인
  • 건공기 주입으로 낮은 이슬점 층의 측정
  • 저온 측정을 위해 Thermal chuck 장착 가능
  • 프로브 카드를 이용하여 WLR 측정 가능
표준 스펙
  • 본체: D: 600 mm, W: 600 mm, H: 450 mm
  • 무게: 40 kg
  • Stage Travel: X: 200 mm, Y: 200 mm
  • Sub Stage Travel: X: 25 mm, Y: 25 mm
  • 척 크기: 4~8 인치
  • 웨이퍼 홀딩 방식: 진공 홀딩 ( 40 mHG 이상)
정밀 얼라인먼트(alignment)
Selectable from variety Microscope
정밀 마이크로미터를 갖춘 X, Y, Z, 세타(Theta) 스테이지. 프로브 카드 사용을 위해 쉽게얼라인먼트(alignment)
가능합니다.

빠른 포지셔닝(positioning)
Variety Type of Stage
사용자는 스테이지 손잡이를 사용하여 자유자재로 XY 스테이지를 움직일 수 있습니다.
XY 트래블(travel) 범위는 척(Chuck) 사이즈와 같습니다.

  • 가족친화우수기업
  • 청년친화 강소시업
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