프로브 테스트 솔루션
Just Right, Just Fit! Versatile, affordable and user-friendly
저 전류! 고주파! 하이 파워용 프로브스테이션 6", 8", 12" 프로브스테이션 선택 가능
알파시리즈 프로브스테이션의 컨셉은 소형, 낮은 가격의 놓은 퍼포먼스, 유용성입니다. 알파시리즈는 150mm ~ 300mm의 초소형 소자 측정의 필요성 증가에 따라 IC, Diode, TR, Wafer, Package등의 측정 및 분석의 다양한 요구를 충족시키기 위해 가장 유연성이 좋은 모델로 디자인되었습니다.
주요 특장점
- 미세 전류, 하이 파워, RF 측정 가능
- 콤팩트한 디자인
- 건공기 주입으로 낮은 이슬점 층의 측정
- 저온 측정을 위해 Thermal chuck 장착 가능
- 프로브 카드를 이용하여 WLR 측정 가능
표준 스펙
- 본체: D: 600 mm, W: 600 mm, H: 450 mm
- 무게: 40 kg
- Stage Travel: X: 200 mm, Y: 200 mm
- Sub Stage Travel: X: 25 mm, Y: 25 mm
- 척 크기: 4~8 인치
- 웨이퍼 홀딩 방식: 진공 홀딩 ( 40 mHG 이상)
정밀 얼라인먼트(alignment)
정밀 마이크로미터를 갖춘 X, Y, Z, 세타(Theta) 스테이지. 프로브 카드 사용을 위해 쉽게얼라인먼트(alignment)
가능합니다.
가능합니다.
빠른 포지셔닝(positioning)
사용자는 스테이지 손잡이를 사용하여 자유자재로 XY 스테이지를 움직일 수 있습니다.
XY 트래블(travel) 범위는 척(Chuck) 사이즈와 같습니다.
XY 트래블(travel) 범위는 척(Chuck) 사이즈와 같습니다.
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(우)07299 서울특별시 영등포구 경인로 775 (문래동 3가, 에이스하이테크시티 3동 2층)
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