Logger Script α200PW - Apollowave ::NUBICOM::
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프로브 테스트 솔루션

α200PW 고출력 프로브 스테이션

α200PW
High Voltage, High Power 측정에 최적의 솔루션!!
주요 특장점
  • 다양한 프로브 선택 가능, 20 kV 및 100 A 측정 테스트 가능
  • 각각의 프로브 방전 가능
  • 빠른 포지셔닝
  • 3 스텝의 Z축 스위칭
  • 포지션 미세조정 가능
  • 다양한 장비 사용 가능 (키사이트 및 키슬리 제품)
표준 스펙
  • 본체 크기: D: 600mm, W: 600mm, H: 450mm
  • 본체 무게: 40 kg
  • Stage travel: X:200mm, Y:200mm
  • Sub stage travel: X:25mm, Y:25mm
  • 척(Chuck) 크기: 4~8 인치
  • 웨이퍼 홀더(Wafer hold): Vacuum absorbing (400mm Hg 이상)
고 전력 프로브
고 전력 프로브
* 2657A과 2751A는 키슬리의 고전력 시스템 소스미터 입니다.
고전압 및 고온의 Low Leak 측정
고 전력 프로브
고 전력용 핫 척(Hot Chuck) 및 온도 척(Thermo Chuck)
온도 범위, 노이즈 수준, 고전력, 크기 및 측정 용도 등에 따라 알맞은 척(Chuck)을 선택할 수 있습니다.

Heated 형

Heated 형
  • 4 ~ 12 인치 웨이퍼
  • RT~400°c 온도 범위
  • 저 노이즈, Low Leak,
    스펙 및 일반 스펙 라인업

히터(heater) 및 칠러(Chiller) 혼합형

히터(heater) 및 칠러(Chiller) 혼합형
  • 4 ~ 12 인치 웨이퍼
  • -55 ~ 330°c 온도 범위
  • 저 노이즈, Low Leak 라인업

펠티에(Peltier) 형

펠티에(Peltier) 형
  • 5 인치 웨이퍼
  • -40 ~ 125°c 온도 범위
  • 저 노이즈, Low Leak 라인업
  • 신속한 온도 조정
  • 약 20°C를 조절 가능
  • 칠러형 보다 더 합리적
온도시간
  • 가족친화우수기업
  • 청년친화 강소시업
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