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Keithley ACS(자동 특성화 제품군) 소프트웨어

Keithley ACS(자동 특성화 제품군) 소프트웨어


  • 개요
  • 시스템 개요
  • 문서 자료

ACS는 반도체 장치 특성화, 안정성 테스트, 파라메트릭(parametric) 테스트 및 구성 요소 기능 테스트용으로 설계된 유동적인 대화형 소프트웨어 테스트 환경입니다. ACS는 폭넓은 Keithley 장치와 Keithley의 S500 및 S530 시스템을 모두 지원합니다. 테스트 및 분석을 매우 유동적으로 수행할 수 있으며, 직관적인 GUI가 제공되므로 초보자도 즉시 생산성을 높일 수 있습니다.

  • 직관적인 GUI를 통해 테스트 플랜 개발, 테스트 실행 및 결과 분석을 간편하게 수행할 수 있습니다.
  • 장치, 현장, 웨이퍼 및 카세트 수준에서 테스트를 개발하고 실행할 수 있습니다.
  • 다중 SMU 병렬 테스트 시스템을 포함한 폭넓은 장비 및 시스템 구성이 지원됩니다.
  • 반자동 및 완전 자동 프로버를 완벽하게 제어할 수 있습니다.
  • 대화형/실시간으로 데이터 도표를 작성할 수 있습니다.
모델
모델 설명
ACS-BASIC ACS Basic Edition은 주로 수동 프로브 스테이션 또는 테스트 고정기를 사용한 반도체 구성 요소 테스트에 사용됩니다. "추적 모드"를 사용하면 초기 장치 특성화를 대화형으로 빠르게 수행할 수 있습니다. GUI 기반 설정 화면과 포괄적인 측정 라이브러리를 사용하여 상세 파라미터 추출 테스트를 만들 수도 있습니다.
ACS. ACS는 전체 웨이퍼에 걸친 반도체 장치 측정을 위한 폭넓은 반자동 및 완전 자동 프로버를 지원합니다. 개별 장치 테스트를 위해 프로버를 대화형으로 제어할 수도 있습니다. 런타임 동안 개별 장치 결과 및 다중 장치 통계를 사용하여 테스트 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다.
* 정확한 가격은 전화 (070-7872-0701) 문의바랍니다.
ACS란?

ACS는 반도체 장치의 상세 특성화를 위해 광범위한 테스트를 수행하는 엔지니어용의 강력한 소프트웨어 프레임워크입니다. 업계 최고 수준을 자랑하는 Keithley의 폭넓은 SMU 장비 및 시스템 라인에서 ACS를 사용할 수 있습니다. 그러면 웨이퍼(wafer) 또는 카세트(cassette) 레벨에서 테스트를 자동화하여 표준 ACS를 통해 자동 프로버를 제어할 수 있습니다. 수동 또는 단일 장치 테스트의 경우 ACS Basic Edition을 사용할 수 있습니다. 또한 고급 다중 DUT WLR(웨이퍼 레벨 안정성)을 원하는 경우에는 표준 ACS를 ACS-2600-RTM 옵션과 함께 사용할 수 있습니다. 또는 아래에서 다양한 애플리케이션, 측정 하드웨어 및 ACS 기능에 대해 자세히 알아보십시오!



구성 요소 특성화

MOSFET, 양극 트랜지스터, 다이오드, 고전력 IGBT 등의 개별 반도체 구성 요소에 대해 다양한 상세 테스트 및 측정 결과를 만들고 관리할 수 있습니다. 아래에서 Keithley의 광범위한 "측정 기능"과 해당 설명을 확인해 보십시오.

ACS 소프트웨어
ACS는 전체 웨이퍼에 걸친 반도체 구성 요소 측정을 위한 폭넓은 반자동 및 완전 자동 프로버를 지원합니다. 개별 장치 테스트를 위해 프로버를 대화형으로 제어할 수도 있습니다. 런타임 동안 개별 장치 결과 및 다중 장치 통계를 사용하여 테스트 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다.
ACS Basic Edition 소프트웨어

ACS Basic Edition은 주로 수동 프로브 스테이션 또는 테스트 고정기를 사용한 반도체 구성 요소 테스트에 사용됩니다. "추적 모드"를 사용하면 초기 장치 특성화를 대화형으로 빠르게 수행할 수 있습니다. GUI 기반 설정 화면과 포괄적인 측정 라이브러리를 사용하여 상세 파라미터 추출 테스트를 만들 수도 있습니다. ACS Basic은 ACS Basic 내에서 분석하거나 다른 오프라인 분석 도구로 내보낼 수 있도록 실시간 결과를 신속하게 제공합니다.

시리즈 2600B 시스템 SourceMeter ® SMU(소스 측정 장치) 장비
시리즈 2600B SourceMeter SMU 장비에는 MOSFET 및 BJT와 같은 다중 단자 반도체 테스트에 적합한 듀얼 채널 장치가 포함되어 있습니다. 또한 Keithley의 TSP-Link®는 SMU 장비 간의 정밀한 타이밍과 조직화된 제어를 제공합니다. 시리즈 2600 제품군의 다양한 모델 중에서 특정 전압 및 전류 사양에 맞는 모델을 선택할 수 있습니다. 자세한 내용을 확인하려면 여기를 클릭하십시오.
시리즈 2650A 고전력 시스템 SourceMeter SMU(소스 측정 장치) 장비

시리즈 2650A 고전력 SourceMeter SMU 장비는 다양한 테스트 구성에서 사용할 수 있습니다. 3kV 또는 50A 펄스(최대 2,000W 펄스 또는 200W DC)를 소싱 및 측정할 수 있습니다. 또한 동급 최고의 저전류 기능을 통해 누설 측정을 매우 효과적으로 수행할 수 있습니다. 저전력 시리즈 2600B SourceMeter SMU 장비와의 통합 시스템 구성에는 키슬리의 TSP-Link®를 사용할 수 있습니다. 자세한 내용을 확인하려면 여기 를 클릭하십시오.

PCT 구성
Keithley의 파라메트릭 곡선 트레이서 구성은 고성능 장비, 케이블, 테스트 고정기 및 소프트웨어를 포함한 전력 장치 특성화를 위한 완벽한 특성화 솔루션입니다. 브레이크 다운 전압과 같은 기본적인 장치 파라미터를 빠르게 확인할 수 있는 실시간 추적 모드와, 정밀한 장치 파라미터 추출을 위한 전체 파라메트릭 모드를 각각 제공하는 7가지 구성을 사용할 수 있습니다.
모델 4200-SCS 파라미터 분석기

모델 4200-SCS 파라미터 분석기의 200V/1A SMU 및 400V C-V 기능은 반도체 구성 요소 특성화에 적합합니다. 2650A 고전력 SourceMeter SMU 장비를 사용하여 4200-SCS를 구성하면 최대 3kV 또는 50A까지 테스트가 가능합니다. ACS Basic Edition 소프트웨어를 통해 이와 같은 광범위한 키슬리 기능을 사용하여 테스트를 만들고 실행할 수 있습니다. 자세한 내용을 확인하려면 여기 를 클릭하십시오.

S500 통합 테스트 시스템
S500 통합 테스트 시스템에서는 키슬리의 완벽한 턴키 솔루션을 사용할 수 있습니다. 고도로 구성 가능한 이들 시스템은 기술 개발 테스트 스테이션을 위한 폭넓은 측정 기능을 통합할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 프로버를 사용하는 처리량이 높은 다중 장치 테스트의 경우에는 ACS의 자동화 기능을 S500 시스템과 함께 사용할 수도 있습니다. 자세한 내용을 확인하려면 여기를 클릭하십시오.
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