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프로브 테스트 솔루션

APX-10 Ambient probe Station(APX)

APX-10
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  • APX-10
  • 개요 및 주요사양
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  • 제품 특징
  • 문서자료
모델 APX-10은 많은 대학, 회사 및 연구소에서 널리 사용되는 범용 주변 프로브 스테이션(Ambient Probe Station)입니다. 이 모델은 제품을 쉽게 옮길 수 있도록 컴팩트한 구조로 되어 있습니다. 최종 사용자가 측정하고자 하는 목적을 쉽게 달성할 수 있도록 마이크로 포지셔너, 프로브 팁, 온도 가변 척, 케이블 연결 유형 및 현미경 사양과 같은 구성 요소를 쉽게 변경하거나 수정할 수 있도록 설계되었습니다.

구조가 단순하여 사용자의 요구와 측정 환경에 따라 쉽게 설치할 수 있으며, 추후 유지보수 및 관리 하기에도 쉽게 제작되었습니다. 다양한 측정기기와 호환됩니다. 또한 마이크로 포지셔너를 사용하여 프로브를 배치하고 제어하는 미세하고 정교한 디바이스 샘플의 전기적 특성을 효과적으로 측정합니다.
최대 샘플 스테이지 크기는 300 mm입니다. 또한 옵션인 다크 쉴드 박스로 시스템을 덮으면 외부 노이즈 효과를 제거하여 보다 안정적이고 정확한 결과를 볼 수 있습니다.
  • Entry-level mounting system
  • Tabletop placed probe station
  • Rapid / Reliable warmup stage
  • Easy expandable to functional system
주요 사양
Specification APX
Sample Chuck Size 2 ~ 12"
Temperature Range RT~150℃
Stability ±0.5℃
Station Footprint Footprint 700 mm (W)
500 mm (D)
450 mm (H)


Sample
Sample size 2” to 12”

* Nickel-plated (sample fixed with bottom-evacuation)


Probing
Maximum probes 6pcs
Device movement 300mm(X), 300mm(Y)
X,Y,Z movement 25mm x 25mm x 25mm
Resolution 1µm 
Base option Vacuum &magnet
Tip holder Triaxial &tube type

* Bottom plate of sample chuck is grounded for sample preparation.
* * Micro-positioner probing can be done as looking directly through the microscope by user or as monitoring images from micro-video scope.


Sample Chuck Evacuation
Pumping speed 7L/min
Ultimate pressure 6.65 × 103 Pa
Ports BNC, Triaxial


Station Footprint
Station footprint 700mm(27.5 in) width,
500mm(19.6 in) depth,
450mm(17.7 in) height
Station weight 80kg


Hot-chuck & Controller
Heater footprint 300mm(118.1 in) width,
400mm(157.4 in) depth,
200mm(78.7 in) height
Temperature Range Room Temp. ~ 200 ℃
Resolution 0.1℃ (±0.5)
ChuckCoating Au Plated


Dark Shielding
Shielding box footprint 900mm(35.4 in) width,
900mm(35.4 in) depth,
900mm(35.4 in) height
Material SCCP
Shielding box weight 20kg


Microscope
Turret 4 lens  changeover turret
Magnification 15x to 2,000x
Focus adjustment with coaxial coarse andfine focusing wheels
Camera mount C-mount adapter


Utility
1-phase voltage 100/120/220/240VAC (+5%, -10%), 50/60Hz
1-phase power  2kVA recommended
3-phase voltage Not required
3-phase power  Not required
Cooling water Not required

* Dark shielding box is optional for protecting samples from environmental light or touching.


Micro Video Scope
6.5x zoom lens 0.75x to 5x, 0.5x adapter,working distance 105mm 
Image sensor IMX236
Output signal USB 2.0, composite, HDMI
Pixel size 3.23.2µm x 3.2µm
Resolution Dynamic: 1920 x 1080
Static: 3264 x 1840 

* Video recording: 1080 30fps@SD card

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