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VPX-10 Vacuum Probe Station(VPX)

VPX-10
  • VPX-10
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  • VPX-10
  • 개요
  • 제품 특징 및 주요 사양
  • 문서자료
모델 VPX-10은 대기 시스템의 한계를 넘어 진공에서 온도 변화 (10K ~ 500K)에 따라 장치 특성을 측정 할 수 있는 매우 정교하게 설계된 다목적 진공 프로브 스테이션입니다. 진공 챔버를 실험실 테이블에 최소 4개에서 최대 6개의 프로브 암으로 조립할 때, 사용자는 프로브 암의 수를 선택할 수 있습니다.
또한, 사용자는 대기압 및 고진공 (~ 10-6 토르torr) 진공에서 장치 특성을 비교 측정 할 수 있습니다. 혁신적인 온도 변환 스테이지 설계를 통해 광범위한 스테이지 온도를 제어 할 수 있습니다. 작은 관형 경로를 통해 흐르는 LN2의 미세 조정, 붙여 넣은 세라믹 유형 척을 통한 효과적인 온도 전달, 온도 전환 시간 및 온도 분해능을 향상시킵니다.
실시간 고배율 마이크로 비디오 시스템은 마이크로 팁을 마이크로 스케일 된 샘플 전극에 정확하게 접근하기 위해 사용자에게 명확한 비디오 정보를 제공합니다. 샘플을 쉽게 로드 및 언로드 하기 위해 이미지를 확대 및 축소 할 수 있습니다.
질량 유량 제어 시스템을 갖추고 있어 다양한 연구 분야에 대한 측정 변수를 확장함으로써 내부 환경 가스를 쉽게 제어 할 수 있습니다.

Model VPX-10 is very elaborately designed all-purpose evacuating probe station which can measure device properties according to the variation of temperature (10K ~ 500K) in the vacuum beyond limits of the ambient system. Customers can choose the number of probe arms when the vacuum chamber is assembled onto a lab table from minimum 4 to maximum 6 probe arms. Furthermore, users can comparably measure device properties at the atmospheric pressure and in the high-degree (~10-6 torr) vacuum. Through innovative design of temperature conversion stage can control wide range of stage temperature; fine tuning of LN2 flowing though small tubular type of path, effective temperature transmission via pasted ceramic type chuck which also enhance the temperature transition time and the temperature resolution. Real-time high magnified micro-video system provides clear video information to a user for approaching the micro-tip to the micro-scaled sample electrodes exactly. Images can be zoomed in and out for easy sample loading and unloading. With equipped mass flow control system, internal environmental gas can be controlled easily (optional) as expanding the measuring variables for more various research application.

  • All-general-purpose system
  • High-degree vacuum state
  • Atmospheric gas control
  • LN2, LHe circulated temperature variable stage

Sample
Sample size 2" to 4"
Sample chuck Nickel-plated (sample fixed with bottom-evacuation)

Probing
Maximum probes 6pcs
Device movement 210mm(X), 210mm(Y)
X,Y,Z movement 25mm x 25mm x 25mm
Resolution 1µm
Base option Vacuum & magnet
Tip holder Triaxial & tube type

Sample chuck evacuation
Pumping speed 7L/min
Ultimate pressure 6.65 × 103 Pa
Ports BNC, Triaxial

Vacuum chamber footprint
Chamber footprint 300mm(118in) Diameter, 200mm(78.7 in) height
Position Plate footprint 800mm(315in) Width, 800mm(315 in) Depth
Ultimate pressure 1.0x10-7Torr
Gas Port 1/4in NPT with valve
Ports Vacuum, Gas, Vent

Vibration Isolation Table
Vibration Isolation Table footprint 900mm(354 in) width, 900mm(354 in) depth, 750mm(295 in) height
Auto Level Control ±0.1 mm,Repeatability
Natural Frequency 1.2 ~ 1.5Hz, Vertical, 1.5 ~ 2 Hz, Horizontal
Load Capacity 400kg ~ 2,000kg
Air Supply 5 ~ 7 kgf/cm2 Air

Hot-chuck & Controller
Heater footprint 300mm(118.1 in) width
Temperature Range 77K ~ 500K (LN2), 10K ~ 800K (He)
Temp rate: +30℃/min, Temp rate: -12℃/min,
Temp resolution: ±0.5℃
Resolution High Temp: ±0.5℃, Low Temp:±3℃
ChuckCoating Au Plated

Utility
1-phase voltage 100/120/220/240VAC (+5%, -10%), 50/60Hz
1-phase power 2kVA recommended
3-phase voltage Not required
3-phase power Not required
Cooling water Not required

Temperature changeable chuck
Heater footprint 300mm(118.1 in) width
Temperature 77K ~ 500K (LN2), 10K ~ 800K (He)
Temp rate: +130℃/min, Temp rate: -12℃/min,
Temp resolution: ±0.5℃
Power 200V DC, 150W
ChuckCoating Au Plated

Micro video scope
6.5x zoom lens 0.75x to 5x, 0.5x adapter, working distance 105mm 
Image sensor IMX236
Output signal USB 2.0, composite, HDMI
Pixel size 3.23.2µm x 3.2µm
Resolution Dynamic: 1920 x 1080
Static: 3264 x 1840

Video recording: 1080 30fps@SD card

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